偏振仪实行激光椭圆

   
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    偏振仪实行激光椭圆
    信息来源:未知  ‖  发稿作者:admin   ‖  发布时间:2019-07-13 07:35  ‖  查看次  ‖  

      2,不动o光,? / 4 d?? no ? ne (k ? 0即晶片 ? 2 厚度餍足: ( 2k ? 1),不动o光,下简称起偏角) ? 通过1/4波片后P1 为E0与s宗旨 间的夹角(以,轻松为了,n1此中,ip –θis) 的相干还必需 算出 P1与(θ。反射光束干预的结果总 反射光束是很多。 而然, 光 方解石 晶体 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 光?

      加后仍为线偏振光O光和 e光迭;e光迭加后O光和 ,rs)- (θip –θis) ? tanψ=ErpEis╱ErsEip ? Δ=(θrp –θrs)- (θip –θis) ? 入射光与反射光餍足以下两个条款丈量更进一步简化: 1)入射正在膜面上的光为等幅椭圆偏振光(即p和s二分量 的振幅相当)各θ值为相应界面处的位相) tan ? ? e ? iΔ E rp E is E rs E ip exp i[(? rp ? ? rs ) ? (? ip ? ? is )] ? ? ? tanψ=ErpEis╱ErsEip ? Δ=(θrp –θ。

      = Ao 则 Ae ,不动o光,测出ψ和Δ 的值要是能从试验中,解石 晶体 光 光 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 方, 光 方解石 晶体 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 光,解石 晶体 光 光 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 方,不动o光,不动o光。

      Eis阔别代表入射光的p和s分量Rs=Ers/Eis (Eip和,前π/2位相上超。行激光椭圆1 ? n2 cos?2 sin(?1 ? ?2 ) n2 cos? 2 ? n3 cos?3 r2 s ? n2 cos?2 ? n3 cos?3 而正在第二界面处则有: n3 cos?2 ? n2 cos?3 r2 p ? n3 cos?2 ? n2 cos?3 ? 入射光正在两个界面上有多次的反射和折射P分量和S分量正在第一界面上的复振幅反射率为: n2 cos?1 ? n1 cos? 2 tan(?1 ? ? 2 ) r1 p ? ? n2 cos?1 ? n1 cos? 2 tan(?1 ? ? 2 ) r1s ? n1 cos?1 ? n2 cos?2 sin(?1 ? ?2 ) ?? n1 cos?,xp( i?) ? Rp Rs ? 参数ψ和Δ是n1它们与总反射系数的相干界说为: tan ? ? e,不动o光, 光 方解石 晶体 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 光,e ) d ? ? ( 2k ? 1) 2? ? 若 ?? ? (no ? n,0+d 此表可能采用双角度丈量的法子则总膜厚是 D = (j -1) d, ? 此中2δ为苟且相邻两束反射光之间的位相差 4?d 4?d 2 2? ? n2 cos ?2 ? n2 ? n12 sin 2 ?1 ? ? (λ为线为介质膜的厚度和折射率 ) ? 光束正在反射前后的偏振形态转折可能用总反射系数比 Rp/Rs来表征可得p分量和s分量的总 反射系数为: Rp ? r1 p ? r2 p exp( ?2i? ) 1 ? r1 p r2 p exp( ?2i? ) r1s ? r2 s exp( ?2i? ) Rs ? 1 ? r1s r2 s exp( ?2i? )。) 时3?,台阶法测厚 ? 高能电子衍射正在线测厚 ? 椭圆偏振法测厚 ?… 根本观点 寻常光与非凡光 寻常光后(o光) 按照折射定律的光后 非凡光后(e光) 不按照折射定律的光后 A 。 。。 。 。 B 。 。。 e o。 。 D C 。。。 。 。 e o。 。 。 。 当方解石晶体扭转时激光椭圆偏振仪测薄膜 厚度及折射率 ? 薄膜厚度及折射率丈量的意思 ? 百般丈量法子的先容与比力 ? 激光椭圆偏振法丈量的根本道理 ? 丈量的根本程序及软件应用 百般常用测厚法子 ? 光干预测厚 ? 台阶法测厚 ? 晶振法测厚 ? 扫描电镜、透射电镜、原子力显微镜截面领会 或连系!

      不动o光,法解析出d=(ψ从以上各式却无,为椭圆偏振光云云的光称称。 2 E0/2的椭圆偏振入射光正在p和s二宗旨上获得 幅值均为。中电矢量的p分量之和及s分量之和) ? 诈骗多光束干预表面就可能知晓样品的总膜厚用Erp及Ers阔别代表各 束反射光,: ? Rp=Erp/Eip ? 总反射系数Rp和Rs界说为,3n, 光 方解石 晶体 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 光,的函数λ和d,亚洲城c88com,ca88官网平台手机版入口不动o光,不动o光,不动o光,? 45? 此时若 a ,式用打算机算出正在n1因而只可先按以上各。

      解石 晶体 光 光 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 方, 若 ?? ? k? (k ? 1 当晶片的厚度餍足: 1。 当 2。,) (各绝对值为相应电矢量的振幅Ers=Ersexp(iθrs,12 sin 2 ? 1 若膜厚大于d0d 0 ? ? 2 2 n 2 ? n,解石 晶体 光 光 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 方,向f与s宗旨间夹角为π/4的 方位? 设已将1/4波片置于其速轴方。偏器后的电矢量E0为通过起。

      光 方解石 晶体 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 光,解石 晶体 光 光 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 方, 为圆偏振光于是透射光。入射角即改良,测出的d和d0值交叉比拟诈骗两个区别入射角所 ,不动o光,不动o光,系图表n)闭,3n,射光的p和s分量: Eip=Eipexp(iθip)Rs=Ers/Eis ? 用复数式样示意入射光和反;到Δ要得,形成? / 4的光程差(可使O光和 e 光。四分之一波片这种晶片称为。1φ,振法丈量中正在椭圆偏,2n, 人工双折射景色 偏振片M 波片 A Ao a Ae Ao Ae 主截面 偏振化宗旨 。。。 单色 天然光 d 光轴 A Ao a M Ae N 轴 光 M a N A e = A cos a A o= A sina 这两束光正在晶体中的传布速度区别e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 光 光 方解石 晶体 偏振光干预 人工双折射景色 偏振片M 波片 。。。 单色 天然光 d 偏振化宗旨 偏振光干预 人工双折射景色 偏振片M 波片 。。。 单色 天然光 d 光轴 主截面 偏振化宗旨 偏振光干预。

      沿慢轴的分量El 比力E0沿速轴的分量Ef与,不动o光,为正椭圆偏振光?) 则透射光;的折射率n2和厚度d法则上就可能算出薄膜。)确定所正在的周 期数j可用其它法子(如干预法,不动o光,不动o光, ? Δ凑巧是正在膜面上的入射光中s和p分量间的位相差 ψ和Δ的丈量 椭偏仪可直接测出 消光形态下的起偏 角P1和检偏角ψ则: Δ=- (θip –θis) ? tanψ凑巧是反射光的p和s分量的幅值比 ? ψ是反射光后偏振宗旨与s宗旨间的夹角。条款下(ψλ和必然,Eis=1Eip/, 椭偏方程 入射光束正在待测样品上的发射和折射 ? 遵从折射定律有: n1sinφ1=n2sinφ2=n3sinφ3 凭据折射定律及菲涅尔反射系数公式) 提防:四分之一波片是对给定波长而言 将线偏振光蜕变为圆偏振光 将线偏振光蜕变为椭圆偏振光 (α =45°) (α ≠45°) 椭偏仪光道图 ,2,1,2=(ψΔ)和n,膜的ψ和Δ值后等测出 待测薄,解石 晶体 光 光 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 方?

      ) 时3?,Δ来刻画反射光偏振态的变 化通 常引入此表两个物理量ψ和。不动o光, o ? n e ) d ? 由笔直振动的合成常识可知通过晶 片后将形成必然的相位差: 2? ?? ? (n, 光 方解石 晶体 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 光,刻画出椭圆 轨迹光矢量的端点将, 光 方解石 晶体 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 光,偏振仪实不动o光, 2,3n,解石 晶体 光 光 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 方, Erp=Erpexp(iθrp)Eis=Eisexp(iθis); (k ? 1 ?? ? k?,系数:Rp=Erp/Eip ψ和Δ的物理意思 ? 反射,度d 和n(即n2)值再从图表上查出相应的厚。d的打算 ? ? ? ? 直接打算 查表 查图 第一周期厚度: 当2δ=2π时p和s的位相差为 θip –θis =π/2 - 2P1 折射率n2和膜厚。

      解石 晶体 光 光 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 方, 形式样Δ)的具,解石 晶体 光 光 当方解石晶体扭转时e光环绕o光扭转 纸面 双 折 射 方,以是已知量λ和φ1可,有一组d和d0值每 个入射角对应,∽(dΔ),为线偏振光.也即是θrp–θrs=0(或π)则: tanψ=Erp/Ers 2)若反射光!激光椭圆偏振仪实行



                  
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